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關于光學平台的功能特點概述

發布時間:2021-09-06      點擊次數:408
光學平台追求水平,加工的時候整個台面是很平的。之後台面置放與四個聯通的氣囊上,以保證台面水平。台面上布滿成正方形排列的工程螺紋孔,用這些孔和相應的螺絲可以固定光學元件。這樣,當你完成光學設備的搭建,系統基本不會受外來擾動而産生變化。即使按動台面,它也會因爲氣囊而自動回複水平。
好的平台和面包板應具有全鋼結構,包括厚5毫米的頂板和底板,以及厚0.25毫米的精密加工的焊接鋼制蜂窩芯。蜂窩芯通過精確的壓膜工具制成,通過焊接平墊片保證其幾何間距。平台和面包板中的蜂窩芯結構從頂板一直延伸到底板,中間無過渡層,從而構成更加堅固、熱穩定性更強的平台産品。
隨著設備和工藝的發展,使納米量級的測量成爲可能。例如,變相光學幹涉儀測量物體的表面粗糙度,目前可以達到1納米的分辨率。在半導體領域,已生産出線寬在亞微米量級的集成電路,提出測量准確率小于50納米的精度要求。
  這樣的應用對系統中不同元件相關配合精度和穩定性提出了很高的要求。
  例如,用顯微鏡對圖像進行高度放大的成像系統,顯微鏡和照像物鏡共同決定了相紙上每點的圖像。如果,在曝光過程中光學系統的每一部分(照明系統、樣品、顯微鏡光學系統、成像光學系統和相紙平面)都精確地一同移動,不存在相對位移,成像也會很清晰。如果樣品相對物鏡産生了運動,則像就會模糊。在光學幹涉測量、全息及運用相似的規律時,控制相對運動都是很重要的。
  在一個**的剛性體內部(只在理論上存在),任何兩點的相對位置都是不變的。也就是說,在振動、靜力矩或溫度變化的情況下,任何實體的尺寸和形狀都是不變的。如果所有的元件都穩固地連接成一個理想的剛性體,不同元件之間沒有相對位移,系統的性能也會很穩固。
  **的刚性体是不存在的。现实中的系统只能近似的认为是刚性的,因此,其稳定性就要受到多方面因素的影响。例如外界的振源,系统的重量,光學平台的结构等等。
 
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